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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

  • 品牌:沈阳科晶
  • 型号: GSL-1800X-ZF4
  • 产地:辽宁
  • 供应商报价: 面议
  • 标签:

详细介绍

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如TiAlAu等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔体设有1KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1CF150闸板阀(直接与

子泵相连)、1KF16法兰(安装电阻规)、5CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于安装其他设备)。

4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。

54个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。

6、样品台安装在腔体的顶部。

7、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10

8、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入:单相AC220V50/60Hz最大功率≤3.2KW

2、蒸发输出:电压AC0-8V连续可调,最大蒸发电流200A

3、真空腔:Φ300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理

4、腔门:Φ200mm

5、观察窗:Φ95mm,采用无氧铜密封圈密封

6、真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s

7、真空度:5.0×10-6torr(泵开启40min后)

8、极限真空度:5.0×10-7torr (加热温度为100℃-150℃

9、漏率:5.0×10-7Pa/s

10、样品台:Φ140mm

11、蒸发舟与样品台间距:260mm

12、冷却水需量:15L/min

产品规格

尺寸:650mm×1200mm×1600mm

重量:600kg

产品优势

技术资料

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