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GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪

  • 品牌:沈阳科晶
  • 型号: GSL-1100X-SPC-16-3
  • 产地:辽宁
  • 供应商报价: 面议
  • 标签:

详细介绍

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。

主要特点

1设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效

果。

3钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

6已通过CE认证。

技术参数

1、靶:Φ45mm

2、真空室:Φ160mm×120mm

3、最高真空度:≤4×10-2mbar

4、靶位:3

5、最大电流:50mA

6、可设定最长时间:900s

7、微型真空气阀:连接Φ3mm软管

8、最高电压: 1600V DC

9、机械泵:2L/s

标准配件

1金靶材

2银靶材

3铝靶材

4进气针阀

5保险丝

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材



产品优势

技术资料

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